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4解決方案
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在半導體器件生產車間,由于塵埃吸附在芯片上,尤其是超大規模集成電路的成品率會大大下降。生產車間操作人員都穿潔凈工作服,若人體帶靜電,則極易吸附塵埃、污物等,若這些塵埃、污物被帶到操作現場的話,將影響產品質量,惡化產品性能、大大降低成品率。如果吸附的灰塵粒子的半徑大于線條寬度約時,薄膜厚度在下時,則最易使產品報廢。
所以在的加工生產和封裝過程中建立起靜電防護系統是很有必要的IC封裝生產線對靜電的要求更為嚴格。為了保證生產線的正常運行,對其潔凈廠房進行防靜電建筑材料的整體裝修,對進出潔凈廠房的所有人員配備防靜電服裝等采取硬件措施外,封裝企業可根據國家有關標準和本企業的實際隋況制定出在防靜電方面的企業標準或具體要求,來配合封裝生產線的正常運轉。
由于即除塵又除靜電的設備品種較多,如何選擇適合自己的產品主要根據生產線上的狀況來決定。以下介紹幾種即除塵又除靜電的設備:
1、離子風槍:它的特點是手持式的,操作方式很隨意,它比較適合用在檢驗部位,檢驗者看到那里有灰塵只要拿起風槍吹一下就可以了。
2、離子風嘴:它是固定式的產品,體積小,不占地方,它比較適合流水線上或部分空間狹小的工位。也可以做成腳踏式和感應式。
3、離子風蛇:它有三種款式:普通式、感應式和腳踏式,可以滿足客戶生產現場不同環境的需要。適合用在有空間放置,無需人員操作,但需要經常調整吹塵方向的工位。
除以上產品在部分流水線和操作工位上還需裝離子風機,從而降低靜電的累積,避免產品在不知不覺中被擊穿??梢赃x用我司的懸掛式離子風機,消電面積大,不占用工作空間,可以根據工作臺的大小或流水線的寬度來選擇。
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